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高纯氧化铝半导体陶瓷有什么特性？

2024-11-16(250)次浏览

近几年，随着国家政策的调整，半导体行业迅速发展，产业规模急速增大，半导体制造设备持续向精密化、复杂化演变。由于陶瓷具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等优点，可用作硅片抛光机、外延/氧化/扩散等热处理设备、光刻机、沉积设备，半导体刻蚀设备，离子注入机等设备的零部件，因此高纯氧化铝半导体陶瓷的研发生产直接影响半导体产业发展，其制备技术要求也越来越高。那么高纯氧化铝半导体陶瓷都有什么特性呢？

　　高纯氧化铝半导体陶瓷的特性如下：

　　1.高纯度：高纯氧化铝陶瓷由纯净的氧化铝原料制成，其中杂质含量低，一般在0.1%以下。这种高纯度保证了材料的优良性能和可靠性。

　　2.高温稳定性：高纯氧化铝陶瓷具有出色的高温稳定性，能够在高温环境下稳定运行。其熔点高达2054℃，因此可以在高温工艺中广泛应用。

　　3.良好的绝缘性：高纯氧化铝陶瓷是一种优秀的绝缘材料，具有低导热性和良好的绝缘性能。它可以在高电压和高频率条件下保持稳定的绝缘性能，因此在电子、通信和电力行业中得到广泛应用。

　　4.超硬性：高纯氧化铝陶瓷具有极高的硬度和强度，可以抵抗较大的压力和冲击。它的硬度接近于莫氏硬度9，仅次于硬度最高的天然矿物金刚石。

　　5.耐腐蚀性：高纯氧化铝陶瓷对酸、碱和其他化学物质具有良好的耐腐蚀性。它不会受到酸碱腐蚀的影响，在恶劣环境下仍能保持良好的性能。

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